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半导体芯片用超纯水设备 [返回]
、EDI(Electrode-ioniztaion)是一种将离子交换技术、离子交换膜技术和离子电迁移技术(电渗析技术)相结合的纯水制造技术。该技术利用离子交换能深度脱盐来克服电渗析极化而脱盐不彻底,又利用电渗析极化而发生水电离产生H和OH离子实现树脂自再生来克服树脂失效后通过化学药剂再生的缺陷,是20世纪80年代以来逐渐兴起的新技术。经过十几年的发展, EDI技术已经在北美及欧洲占据了相当部分的超纯水市场。 EDI装置属于精处理水系统,一般多与反渗透(RO)配合使用,,组成预处理、反渗透、 EDI装置的超纯水处理系统,,取代了传统水处理工艺的混合离子交换设备。 EDI装置进水要求为电阻率为0.025-0.5MΩ·cm,反渗透装置完全可以满足要求。 EDI装置可生产电阻率高达18MΩ·cm以上的超纯水。
二、工作原理
一般自然水源中都会存在钠、钙、镁、氯化物、硝酸盐、碳酸氢盐等溶解物。这些化合物由带负电荷的阴离子和带正电荷的阳离子组成。通过反渗透预处理,有95%-99%以上的离子可以被去除。反渗透产水的电阻率一般范围是0.05-1.0 MΩ·cm,即反渗透产水电导率的一般范围为20-1μS/cm。根据在实际应用的情况,EDI电去离子产品水电阻率的范围一般为5~18.2 MΩ·cm。另外,原水中也可能包括其它微量元素、溶解的气体(如CO2)和一些弱电解质(如硼、二氧化硅等),这些杂质在工业除盐水中必须被除掉。但是反渗透预处理对于这些杂质的清除效果较差。因此,EDI的作用就是除去电解质(包括弱电介质),将水的电阻率从0.05~1.MΩ·cm提高到5~18.2 MΩ·cm。
、EDI电去离子的三个相互条件
1)反渗透产纯水进水EDI纯水室后,纯水中的离子与EDI模块中的离子交换树脂发生离子交换,从而从水中脱离;
2)入水水压如低于0.2 Mpa需加装管道泵被交换的离子受电性吸引作用,阳离子穿过阳离子交换膜向阴极迁移,阴离子穿过阴离     子交换膜向阳极移,并进入浓水室从而从淡水中去除;
3)水分子在电的作用下被不断地离解为H+和OH-,H+和OH-将分别使得被消耗的阳、阴离子交换树脂连续得到再生。
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